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基于平面光波导技术,光分路器晶圆是在石英衬底上通过生长、光刻、刻蚀等工艺制造而成。光分路器晶圆有1×2、1×4、1×8、1×16、1×32、1×64和2×N多种类型。通过对光分路器晶圆切割和抛光,可以得到高质量、高成品率和高可靠性的光分路器芯片。
6英寸
低插入损耗和偏振相关损耗
均匀性好
工作波长范围广
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